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ポピュラーサイエンス | 湿式電子化学薬品用透過材料 - 先端半導体製造プロセスにおける「清浄度保証」
2025-08-21
湿式電子化学薬品は、電子機器製造において不可欠な重要な液体材料であり、集積回路（IC）、ディスプレイパネル、太陽電池などの分野で広く使用されています。主に洗浄、エッチング、現像、剥離、電気めっきなどの湿式プロセスで機能します。 高度な半導体製造プロセスでは、これらの化学物質には非常に高い純度要件があり、通常は「電子グレード」の標準、つまり 1ppb (10 億分の 1) 未満の不純物濃度、または ...
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