湿式電子化学薬品は、電子機器製造において不可欠な重要な液体材料であり、集積回路（IC）、ディスプレイパネル、太陽電池などの分野で広く使用されています。主に洗浄、エッチング、現像、剥離、電気めっきなどの湿式プロセスで機能します。
高度な半導体製造プロセスでは、これらの化学物質には非常に高い純度要件があり、通常は「電子グレード」の標準、つまり 1ppb (10 億分の 1) 未満の不純物濃度、または ppt (1 兆分の 1) レベルに達して、ウェーハやデバイスの汚染やパフォーマンスの損傷を回避します。
1. 湿式電子化学品の伝送材料に関する規格
湿式電子化学薬品の保管および輸送中の超高清浄度維持を保証するため、半導体業界では一般的に、半導体製造装置材料国際（SEMI）が策定したSEMI F57規格に準拠しています。この規格は、超純水および液体化学薬品輸送システムにおけるポリマー材料および部品に関する権威ある仕様であり、超高純度ポリマー材料および部品の機械的特性、溶出物、粒子放出などの技術要件と検証方法を規定しています。
2. 湿式電子化学品用主要伝送材料の選択
PFA（パーフルオロアルコキシアルカン）：高純度伝送に適した材料
半導体用湿式電子化学薬品は、金属イオンや粒子などの不純物に対して極めて敏感であり、一般的に金属イオン含有量はppbからpptレベルに、粒子径は0.1μm未満に制御する必要があります。供給システムは汚染物質の混入をゼロに抑える必要があるため、液体と接触するすべての部品の材質が非常に重要です。
PFAは、強酸、アルカリ、有機溶剤に対する優れた耐腐食性を有しており、一部の有機化学薬品を除くほとんどの湿式電子化学薬品の伝送パイプラインの優先材料となっています。内壁は滑らかで、粒子が付着しにくく、イオンの浸出率が極めて低いという特徴があります。また、適度な柔軟性と透明性を備えており、設置や観察が容易なため、高純度化学薬品の伝送材料として最適です。
高度な半導体製造プロセスのニーズを満たすため、湿式電子化学薬品はG4やG5といった高純度グレードに達する必要があります。従来のPFA材料も、リーク防止や低浸出といった性能向上の課題に直面しています。現在、半導体グレードの超清浄PFAチューブは、半導体業界の主流製品となっています。
HDPE（高密度ポリエチレン）：バルク包装および供給の主要材料
化学薬品供給システムでは、パイプラインに加え、包装容器も化学薬品の品質に直接影響を及ぼします。1日の消費量に応じて、供給システムはタンカー供給と200Lドラム供給に分けられます。中でも、200Lドラムは、その柔軟性と経済性から、中・低消費量のほとんどの用途で広く使用されています。
半導体製造において、200L ドラムの一般的な原材料は HDPE です。
半導体グレードのHDPEドラムは、優れた化学的安定性、極めて低い金属イオン溶出、そして高い清浄度が求められます。さらに、頻繁な取り扱いや長期使用に耐え得るよう、優れた機械的強度、耐老化性、そして軽量性も求められます。
各種高純度化学薬品包装ドラムの中で、G5グレードのHDPEドラムは最も高い技術的バリア性を備えています。極めて高い清浄度とバリア性要件を満たすため、業界では一般的に輸入高純度HDPE材料を使用し、三層共押出成形や中空ブロー成形などの特殊プロセスを組み合わせて製造することで、高度な半導体製造における包装材料の厳格な基準を満たす製品を実現しています。
3. 宝石利 – 高純度伝送および包装材料ソリューションのサプライヤー
宝石利は、湿式電子化学薬品の保管・伝送分野において、SEMI F57規格に適合した高品質な材料ソリューションの提供に注力しています。独自の研究開発により、SEMI F57規格に準拠し、高度な半導体製造プロセスの厳格な伝送純度要件を満たす、超清浄PFAチューブや超清浄PFAコネクタなどの半導体グレード超清浄PFAシリーズ製品を市場に投入しました。
一方、宝石利が開発したG5グレード200LウルトラクリーンHDPEドラムは、高級湿式電子化学品に安全で信頼性の高い包装保証を提供することを目指し、製品検証段階に入っている。
現在、湿式電子化学品市場は急速に成長しています。中国電子材料産業協会によると、世界市場規模は2025年までに825.2億人民元に達し、中国市場は292.75億人民元に達し、年平均成長率（CAGR）は8.9%になると予想されています。
このような有望な背景の下、国内企業は電子グレードの硫酸や過酸化水素といったG5グレード製品において飛躍的な進歩を遂げ、国内サポート能力の着実な向上を実証しています。宝石利は常に高性能超高純度フッ素材料と超高純度化学包装材料の研究開発と供給に注力し、半導体およびハイエンド電子機器製造分野向けに安全で信頼性の高い製品ソリューションを提供することに尽力しています。
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