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新たな業界標準の先駆者 | グループ標準の解釈

2025-10-24

国内の半導体グレードPFAチューブの生産と品質管理を標準化し、産業チェーンの自立性と制御性を高めるため、「半導体グレード可融性ポリテトラフルオロエチレン(PFA)チューブ」グループ標準(以下、「本標準」)が正式に発表されました。中国石油化学工業連合会が主催し、宝石利が起草を主導し、20社以上の企業が共同で参加した本標準は、約2年にわたる策定と議論を経て、2025年12月11日に正式に施行されます。


この規格は、包括的、専門的、かつ洗練された具体的な指標に基づき、中国半導体産業の「黄金の血管」に厳格な基準を定めています。本号は、皆様にとって重要な解釈となるでしょう。

I. ギャップを埋め、統一基準を確立する

半導体製造プロセスでは、 半導体グレードのPFAチューブ 様々な電子化学薬品や超純水の輸送を担っています。その清浄度と信頼性は最終製品の歩留まりに直結しますが、国内統一基準がないため、製品の品質には大きなばらつきがあり、生産における潜在的なリスク要因となっています。


この規格は、半導体グレードPFAチューブの寸法仕様や金属イオン溶出量といった主要な純度指標、ならびに測定・検査方法を体系的に規定しています。これにより、製造、試験、調達の明確な基準が提示され、半導体グレードPFAチューブに関する国内規格の不足部分を効果的に補うことができます。

II. 「中国基準」の「ハードパワー」を示す指標の包括的な超越

01. テクニカル指標とディメンション仕様の統合

この規格は、技術指標と寸法仕様の両方に関連するベンチマークを設定します。 半導体グレードのPFAチューブ 例えば、外観、全有機体炭素(TOC)、表面粗さなどの技術指標や寸法規格には明確な数値指標が指定されています。

02. 超高純度要件

本規格は、半導体グレードPFAチューブの中核となる純度指標として、より厳しい要求事項を定めています。国際規格SEMI F57を基準としつつ、国内業界の実情も踏まえ、複数の技術指標において純度基準を引き上げ、大幅な進歩を遂げています。例えば、アルミニウム、鉄、ナトリウムなど10種類以上の主要金属不純物の含有量が1μg/m²以下であることが要求されており、これはSEMI F57規格よりも厳しい基準となっています。

03. 測定仕様の統一

これまでの測定方法の一貫性の欠如により比較できないデータが生じる問題に対処するため、この規格では、クリーンな環境、浸漬条件、サンプルの取り扱いについて厳格かつ詳細な規制を設け、試験結果の一貫性と公平性を確保しています。


さらに、この規格は、GB/T 191(包装 - 商品の取り扱いに関する図解表示)、GB/T 601(容量分析用標準滴定溶液)、GB/T 2828(特性検査用サンプリング手順および表)、GB/T 2918(プラスチック - 調整および試験用標準雰囲気)、GB/T 8170(数値の四捨五入規則)、GB/T 8804.1(プラスチック - 引張特性の測定 - パート 1:一般原則)、GB/T 8806-2008(プラスチック - チューブ寸法の測定)などの詳細規則の要件も引用しており、信頼性の高い根拠となっています。

III. 産業界の合意形成による協働型イノベーション・エコシステムの構築

この規格が公布される以前、半導体産業チェーンの上流・下流企業は、PFAチューブの製造・試験において「複数の規格・基準」というジレンマにしばしば直面していました。これは調達の適応コストを増大させるだけでなく、品質判断基準の不一致による歩留まりリスクの顕在化にもつながりました。


この規格は、これまで企業間で分散していた仕様を、公開され一貫性のある業界コンセンサスへと引き上げます。チューブメーカー、チップ製造工場、試験機関に至るまで、すべての企業が評価基準を持つようになり、サプライチェーンにおける連携の効率性と品質信頼性が大幅に向上します。


宝石利は主導的な起草単位として、標準の広範な適用を推進し、半導体グレードのPFAチューブの高水準、高要求、高品質の生産エコシステムの構築を加速し、現地化置き換えに貢献するための実践的な行動を講じます。


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