国内の半導体グレードPFAチューブの生産と品質管理を標準化し、産業チェーンの自立性と制御性を高めるため、「半導体グレード可融性ポリテトラフルオロエチレン(PFA)チューブ」グループ標準(以下、「本標準」)が正式に発表されました。中国石油化学工業連合会が主催し、宝石利が起草を主導し、20社以上の企業が共同で参加した本標準は、約2年にわたる策定と議論を経て、2025年12月11日に正式に施行されます。
半導体製造プロセスでは、 半導体グレードのPFAチューブ 様々な電子化学薬品や超純水の輸送を担っています。その清浄度と信頼性は最終製品の歩留まりに直結しますが、国内統一基準がないため、製品の品質には大きなばらつきがあり、生産における潜在的なリスク要因となっています。
これまでの測定方法の一貫性の欠如により比較できないデータが生じる問題に対処するため、この規格では、クリーンな環境、浸漬条件、サンプルの取り扱いについて厳格かつ詳細な規制を設け、試験結果の一貫性と公平性を確保しています。
この規格が公布される以前、半導体産業チェーンの上流・下流企業は、PFAチューブの製造・試験において「複数の規格・基準」というジレンマにしばしば直面していました。これは調達の適応コストを増大させるだけでなく、品質判断基準の不一致による歩留まりリスクの顕在化にもつながりました。
この規格は、これまで企業間で分散していた仕様を、公開され一貫性のある業界コンセンサスへと引き上げます。チューブメーカー、チップ製造工場、試験機関に至るまで、すべての企業が評価基準を持つようになり、サプライチェーンにおける連携の効率性と品質信頼性が大幅に向上します。
宝石利は主導的な起草単位として、標準の広範な適用を推進し、半導体グレードのPFAチューブの高水準、高要求、高品質の生産エコシステムの構築を加速し、現地化置き換えに貢献するための実践的な行動を講じます。
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