半導体製造において、ウェハは様々なプロセスリンクにおけるガス汚染の脅威にさらされています。そのため、クリーンルームのガスモニタリングシステムは非常に高い精度を実現する必要があります。モニタリングシステムのすべてのコンポーネント、特にガス伝送を担うパイプは、半導体グレードの純度基準を満たす必要があります。わずかな汚染でも、モニタリング結果全体の信頼性に影響を与える可能性があります。

この重要なリンクにおいて、 宝石利ウルトラクリーンPFAチューブ は、その優れた性能により、主流のガスモニタリングシステムで好まれるガス伝送消耗品となっています。クリーンルームにおけるガスモニタリングデータの精度を確保し、ガスモニタリングシステムサービスプロバイダーが「モニタリング-伝送-分析」プロセス全体を通して正確で信頼性の高い閉ループ管理を実現するのを支援し、ガス微量汚染モニタリングの典型的なソリューションを形成します。

ガス微量汚染モニタリングの信頼できる基盤

ガス微量汚染モニタリングシステムにおいて、宝石利ウルトラクリーンPFAチューブの優れた性能に基づくソリューションは、以下のことを実現します

1. データの精度を確保：サンプリングポイントから分析機器への検査対象ガスのロスレス伝送を実現し、その後の分析に真正かつ完全なサンプルを提供します。
2. システム信頼性の向上：配管の問題によるシステムメンテナンス、校正、故障率の頻度を削減し、全体的な運用コストを削減します。
3. 高度な製造プロセスの強化：高度な半導体製造における環境モニタリングに対するますます厳しくなる要件を満たし、チップの歩留まりと生産安全性を確保するための重要なサポートとなります。

超清浄PFAチューブの純度保証

半導体グレード製品の製造プロセスにおいて、 宝石利 は、可塑化、押出、真空サイジング、牽引と巻き取り、超清浄PFA材料の寸法制御などの主要なプロセス技術を突破しました。超高純度材料配合と高度な高温・耐腐食性精密機器を組み合わせることで、寸法公差、表面平滑性、耐食性、金属イオン浸出など、パイプの主要な性能指標を正確に制御します。 半導体グレードの超清浄PFAチューブ の開発に成功し、この製品には3つの主要な利点があります

1. 優れた化学的安定性

2. 極めて低い金属イオン浸出率

3. 広い温度適応性

幅広い耐温度性により、半導体工場の様々な過酷な環境条件に適応し、様々な作業条件下で安定した性能を維持します。現在、Baoshili Ultra-Clean PFAチューブはガス監視システムソリューションへの応用が深まり、その応用シナリオと技術的限界は絶えず拡大しています。今後、Baoshiliは製品機能をさらに向上させ、次世代半導体技術の革新をしっかりとサポートしていきます。