半導体チップ製造分野において、超高純度薬品を輸送するパイプラインシステムの「清浄度」は、デバイスの歩留まりに直接影響を及ぼします。薬品輸送システムの「黄金の血管」として、ウルトラクリーンPFAチューブは広く使用されています。

PFA（パーフルオロアルコキシアルカン）は、テトラフルオロエチレン（TFE）と少量のパーフルオロアルキルビニルエーテルを共重合した高性能材料です。従来のポリテトラフルオロエチレン（PTFE）と比較して、PFAは優れた耐薬品性、低い摩擦係数、優れた電気絶縁性（温度の影響を受けない）に加え、溶融接着性、溶融粘度の低さも特長としています。260℃の高温にも長期間耐えることができ、溶融押出成形などのプロセスにより、複雑な構造の配管や部品の製造を可能にします。

高純度PFA材料は、溶融、押出、成形など、複数の精密加工工程を経てチューブとして完成します。製造工程では、機器内の金属部品の微細摩耗、環境中の浮遊粒子、プロセスパラメータの変動などにより、新たな汚染源が発生する可能性があります。そのため、ウルトラクリーンPFAチューブの純度検証は非常に重要です。

半導体業界では、ウルトラクリーンPFAチューブに極めて高い純度が求められています。そのため、業界では通常、製品の信頼性を評価するために、極限条件下での加速抽出試験を実施しています。

01. 金属イオン浸出試験

02. 粒子含有量試験

03. 有機残留物試験

04. 身体能力テスト

05. 外観検査

内径、外径、壁の厚さ、偏心、表面の滑らかさ、光沢（不純物、曲がり、摩耗がないこと）、パッケージの適合性を確認します。

現在、超高純度フッ素樹脂は半導体プロセスにおいて不可欠な役割を果たしています。しかしながら、ハイエンドPFA製品市場は長らく国際企業によって支配されてきました。近年、中国の半導体産業チェーンにおける自主性への要求が高まるにつれ、高純度フッ素樹脂製品分野においても国内代替プロセスが徐々に始動しています。その中でも、ウルトラクリーンPFAチューブのような高度に標準化された部品は、技術革新を達成した最初の製品群として台頭しています。

継続的な独立した研究開発とプロセスの最適化を通じて、Baoshiliは ウルトラクリーンPFAチューブ 高度な半導体プロセスの要件を満たすこれらの製品は、複数の大手チップメーカーのサプライチェーンシステムに徐々に導入され、ハイエンド材料の国内代替を促進するための実用的な道筋を提供しています。