半導体製造の分野では、電子化学物質の輸送中に発生する静電気の蓄積が、流体の純度とプロセスの安定性に影響を及ぼす重要な課題の 1 つです。
2025年以降、 宝石里 当社は、超純粋フッ素樹脂(PFA)製品の帯電防止技術において継続的な進歩を遂げ、「PFAチューブ用帯電防止・除塵装置」と「半導体産業向け静電気拡散PFAチューブ」の2つの実用新案特許を取得しました。
この特許は、静電気防止部品(環状体、高電圧・高周波放電針を含む)とエアブロー部品を設計し、PFAチューブ製造時の静電気と粉塵汚染の問題を解決し、チューブ表面の清浄度を大幅に向上させます。
この特許は、PFAチューブの外壁に導電性PFAストリップを巻き付ける設計を採用しています。半導体業界における超高純度および高純度試薬の輸送中に発生する静電気の蓄積問題を解決し、静電気を効果的に除去し、半導体製造におけるプロセスの安定性と安全性を確保します。
宝石利はこれまでに超高純度フッ素ポリマー分野で20件以上の特許を保有しています。今後も製品プロセスの最適化と技術革新を推進し、電子化学品の高純度・高安定性伝送のための強固な基盤を提供していきます。
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