最近、中国石油化学工業連合会は14の団体標準に関する公式発表を行いました。その中には、
「半導体グレード超高純度可融性ポリテトラフルオロエチレン(PFA)チューブ」のグループ規格
宝石利が主導し、超純度フッ素ポリマーを専門とする20社以上のハイテク企業が共同参加する「超純度フッ素ポリマー標準標準化プロジェクト(T/CPCIF 0464-2025)」は、中国石油化学工業連合会標準化作業委員会による審査と承認を受け、2025年12月11日に正式に実施される。
この規格の策定と実施は、半導体産業で使用される超高純度材料に関する国内規格の不足を効果的に補うものであり、製品品質の標準化、デバイス歩留まりの向上、そして半導体産業チェーンの安全性と高品質化の支援に大きな意義をもたらします。
半導体産業は急速に高集積化と高精度化を進めており、湿式電子化学薬品の輸送に使用される主要部品の純度、安定性、信頼性に対する要求は極めて高くなっています。半導体製造において超純水や化学薬品を輸送する重要な部品であるPFAチューブの品質は、チップ製造の歩留まりと性能に直接影響を及ぼします。
国際的なSEMI F57仕様に基づき、中国の半導体産業の実際の発展と組み合わせることで、
「半導体グレード超高純度可融性ポリテトラフルオロエチレン(PFA)チューブ」のグループ規格
寸法仕様、外観、全有機炭素(TOC)含有量、表面粗さ、金属および非金属イオンの浸出量など、半導体グレードのPFAチューブの主要な技術指標を初めて体系的に規定しました。
注目すべき点として、本規格の複数の技術指標は国際規格よりも厳格です。例えば、TOC含有量の要件は2000μg/m²以下(SEMI F57では40000μg/m²以下)であり、複数の金属イオンの溶出量の制限値も大幅に引き上げられています。これらの厳格な規定は、ハイエンド半導体材料分野における中国の高水準の要求を反映しており、国産半導体部品の信頼性を効果的に向上させるでしょう。
宝石利は、この規格の主要な起草単位として、フッ素ポリマー分野での技術蓄積と産業化の経験を活かし、規格策定のための重要な実験検証データなどの重要なサポートを提供してきました。
宝石利は長年にわたり、超清浄PFA可塑化、押出、真空サイジング、牽引・巻き取り、寸法制御といった主要プロセス技術の飛躍的進歩により、半導体グレードの超清浄PFAチューブの開発に成功してきました。また、超高純度材料配合と先進的な高温・耐腐食性精密設備を統合し、レオロジー特性、不安定末端基の分解特性、寸法公差、表面平滑性、耐腐食性、金属イオン溶出量といったチューブの主要性能指標とシステム間の関係性について専門的な技術研究を行っています。
宝石利は、この規格の起草を主導するだけでなく、積極的な推進者でもあります。規格プロジェクトの立ち上げから技術内容の編集に至るまで、宝石利は積極的にリソースを提供し、参加部門と共同で議論、検証、改善を進め、超高純度フッ素樹脂分野における革新的企業としての責任感とコミットメントを存分に発揮しています。
中国石油化学工業連合会(以下、「中石油化学連合会」)は、石油化学産業におけるサービス提供と一定の管理機能を担う、全国規模の総合的な社会産業組織です。その主な機能は、「業界計画の策定への参加、業界における主要な投資、開発、技術転換、技術導入プロジェクトの予備的実証」などです。
この規格の実施により、半導体グレードの超純粋PFAチューブの生産および検査プロセスが効果的に標準化され、製品品質の一貫性が向上し、パイプラインの汚染によるチップの欠陥率が低下し、中国の半導体産業チェーンの独立した制御可能な高品質の発展に貢献します。