01. PFA素材とはどのような素材ですか？
PFA（通称：可融性PTFE）は、テトラフルオロエチレンと少量のパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重合体です。射出成形、押出成形、ブロー成形が可能で、PTFEの難加工性を解決します。主に半導体装置部品、高純度化学薬品貯蔵タンク、医療グレードのパイプラインなどの分野で使用されています。
02. 半導体グレードPFAとは何ですか？
国産PFAは、製品の純度、性能、用途分野に応じて、主に一般グレード、コーティンググレード、超高純度グレード、半導体グレードの4つのカテゴリーに分類されます。そのうち、半導体グレードは純度に対する要求が厳しく、研究開発と生産を困難にしています。
03. 半導体グレードPFAの優れた特性
半導体の洗浄、エッチング、蒸着などのプロセス処理では、フッ化水素酸、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸アンモニウム、過酸化水素水溶液などの湿式電子化学薬品が大量に使用されます。そのため、優れた耐腐食性、耐高温性、超高純度を備えた半導体グレードのPFA製品は、高度なプロセスにおける第一の選択肢となっています。
半導体グレード PFA には、次のような優れた特性があります。
半導体グレードのPFAは、さまざまな強酸、強アルカリ、有機溶剤に対して優れた耐腐食性を備えており、化学物質による機器の損傷を効果的に防止し、半導体装置の正常な動作を確保します。
半導体グレードのPFA材料は極めて高い化学的不活性を有し、この材料で作られたパイプ、ジョイント、バルブなどの製品における金属イオンの沈殿は極めて少なく、輸送中の半導体湿式電子化学薬品の高純度を確保できます。
半導体グレードPFAは優れた絶縁材料として、広い温度範囲にわたって安定した誘電率と高い表面抵抗率を有しています。さらに、PFAの電気絶縁性は温度の影響を受けないため、高温環境下でも優れた電気特性を維持できます。
04. 半導体グレードPFAの適用範囲
PFAパイプ、PFAジョイント、PFAバルブなど半導体グレードのPFA素材で作られた製品は、半導体製造分野で広く使用されています。
半導体製造はクリーンな環境で実施する必要があります。PFAパイプ継手などの半導体グレードPFA製品は、クリーンルーム内のガス輸送、液体輸送、排出など、様々な配管システムに使用できます。高い清浄度と強力な耐腐食性により、クリーンルームの安定性と安全性を確保します。
ウェハは半導体製造の中核材料であり、洗浄、成膜、エッチング、パッケージングなど、複数の処理工程を経る必要があります。半導体グレードのPFA製品は、ウェハ処理装置の伝送配管に使用することで、装置の性能と生産効率を向上させることができます。
CMPは半導体製造において一般的に用いられる表面処理技術であり、ウェーハ表面の微細な粒子や粗さを除去するために使用されます。半導体グレードのPFA製品は、CMP装置の供給配管や循環配管として使用でき、装置の正常な動作を確保します。
半導体製造プロセスでは、化学反応や処理に様々なガスが広く使用されています。半導体グレードのPFA製品は、真空配管、気流制御管、排気ガス排出管などのガス供給システムにも使用され、ガス供給システムの安定性と安全性を確保します。
05. 半導体グレードPFA開発の現状
大規模集積回路（LSI）の高集積化、高密度化、微細化に伴い、半導体製造プロセスで使用される材料には、より高い純度と機能性が求められています。現在、多くの半導体メーカーは依然として輸入PFA製品に依存していますが、宝石利は継続的な研究開発技術投資を通じて、超清浄PFA管継手や超清浄PFAジョイントなど、様々な半導体グレードのPFA材料製品を開発し、業界の急速な発展ニーズに応えています。
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