最近、国内大手洗浄装置メーカーが、高温シングルチップSPM装置が製品認証に合格したと発表しました。これは、同社の湿式洗浄装置における重要な技術進歩の証です。宝石利は超高純度フッ素材料(PFA)製品の性能を継続的に向上させており、パイプラインシステム向け高温シングルチップSPM洗浄装置の厳しい要件を満たすことができました。
SEMIのデータによると、世界の半導体洗浄装置市場は2023年に50億米ドルに達し、枚葉式洗浄装置は洗浄装置市場全体の70%以上を占め、非常に高いシェアを維持すると予想されています。半導体技術の継続的な進歩に伴い、チップサイズは縮小を続け、不純物に対する感度が大幅に高まっており、高温枚葉式SPM装置の重要性も高まり、業界でますます普及しています。
半導体製造プロセスにおけるウェットプロセスでは、フッ化水素酸、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、アンモニア水、過酸化水素水など、様々な薬品を用いて、200℃近くの高温でウェーハを処理する必要があります。枚葉式高温SPM装置の応用シナリオも非常に広範囲にわたります。
現在、宝石利の超高純度フッ素材料(PFA)製品は、高温シングルチップSPMウェット洗浄装置のパイプラインシステムに構成できます。
PFA(一般に可融性PTFEとも呼ばれる)は、テトラフルオロエチレンと少量のパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重合体です。PTFEと比較して、溶融接着力が強く、溶融粘度が低く、260℃の高温に耐えることができ、優れた耐薬品性、低い摩擦係数、良好な電気特性を備え、電気絶縁性は温度の影響を受けません。
宝石利の超純フッ素材料製品には以下の利点があります。
高温洗浄プロセス中、PFA パイプ継手は高温洗浄液による腐食に耐えることができ、装置の安定した動作を保証します。
化学洗浄プロセス中、PFA パイプ継手の優れた耐腐食性と金属イオン沈殿の少なさにより、化学薬品の超純度を確保できます。
パイプラインのハブとして、特殊な機械的特性とシール構造を備えた PFA ジョイントを PFA フィッティングと組み合わせることで、完全な超高純度化学物質供給システムを構築できます。
国内で数少ない半導体グレードのPFA製造技術を有する企業の一つである宝石利は、独自の技術革新を核心とする競争力を持っています。ダイキン工業の高純度原料を使用し、独自のプロセスを組み合わせることで、超清浄PFAチューブの大量生産を実現しています。製品はISO 9001などの国際認証を取得し、SEMI規格にも適合しているだけでなく、10件以上の独自の知的財産権を保有しています。宝石利は、国内における超清浄部品の代替において代表的な企業の一つです。
業界標準の統一性を維持するために、宝石利は社会的な責任を担う勇気を持ち、率先して「半導体グレードの超純粋溶融性ポリテトラフルオロエチレン(PFA)チューブ」グループ標準を策定し、業界の発展をリードし、国内代替のプロセスを加速しました。宝石利の熱心な研究開発により、超クリーンPFAパイプ継手や超クリーンPFAコネクタなどの超純粋フッ素材料製品は、多くの大手半導体企業の製品検証に合格し、安定した供給を維持しています。
半導体製造がより高精度かつ要求の厳しいプロセスへと進む中、バイオシャインの超高純度PFA材料は、材料革新とエンジニアリングアプリケーションを通じて、高温シングルチップSPM装置向けに信頼性の高い超高純度フッ素材料製品ソリューションを提供することができます。今後、プロセスの高精度化が進むにつれて、バイオシャインは技術研究開発への投資を継続的に増加させ、高品質の超高純度フッ素材料製品を継続的に提供し、国産半導体の発展を加速させていきます。