最近、国内大手洗浄装置メーカーが、高温シングルチップSPM装置が製品認証に合格したと発表しました。これは、同社の湿式洗浄装置における重要な技術進歩の証です。宝石利は超高純度フッ素材料（PFA）製品の性能を継続的に向上させており、パイプラインシステム向け高温シングルチップSPM洗浄装置の厳しい要件を満たすことができました。

半導体製造プロセスにおけるウェットプロセスでは、フッ化水素酸、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、アンモニア水、過酸化水素水など、様々な薬品を用いて、200℃近くの高温でウェーハを処理する必要があります。枚葉式高温SPM装置の応用シナリオも非常に広範囲にわたります。

現在、宝石利の超高純度フッ素材料（PFA）製品は、高温シングルチップSPMウェット洗浄装置のパイプラインシステムに構成できます。

国内で数少ない半導体グレードのPFA製造技術を有する企業の一つである宝石利は、独自の技術革新を核心とする競争力を持っています。ダイキン工業の高純度原料を使用し、独自のプロセスを組み合わせることで、超清浄PFAチューブの大量生産を実現しています。製品はISO 9001などの国際認証を取得し、SEMI規格にも適合しているだけでなく、10件以上の独自の知的財産権を保有しています。宝石利は、国内における超清浄部品の代替において代表的な企業の一つです。

業界標準の統一性を維持するために、宝石利は社会的な責任を担う勇気を持ち、率先して「半導体グレードの超純粋溶融性ポリテトラフルオロエチレン（PFA）チューブ」グループ標準を策定し、業界の発展をリードし、国内代替のプロセスを加速しました。宝石利の熱心な研究開発により、超クリーンPFAパイプ継手や超クリーンPFAコネクタなどの超純粋フッ素材料製品は、多くの大手半導体企業の製品検証に合格し、安定した供給を維持しています。

半導体製造がより高精度かつ要求の厳しいプロセスへと進む中、バイオシャインの超高純度PFA材料は、材料革新とエンジニアリングアプリケーションを通じて、高温シングルチップSPM装置向けに信頼性の高い超高純度フッ素材料製品ソリューションを提供することができます。今後、プロセスの高精度化が進むにつれて、バイオシャインは技術研究開発への投資を継続的に増加させ、高品質の超高純度フッ素材料製品を継続的に提供し、国産半導体の発展を加速させていきます。