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主要指標が国際一流基準に到達!BSL超高純度PFAチューブの検証データを公開

2026-08-18

高純度供給配管の清浄度要件が極めて厳格であるウェーハ製造において、金属イオン溶出とパーティクル放出は最も重要な2つの評価指標です。複数回の検証試験を経て、BSL(宝石力)超高純度PFAチューブは安定した卓越した性能を発揮し、すべての主要指標が国際的な第一級水準に達し、先進プロセスノードの要求を満たしています。


Ultra-clean PFA Tube


超高純度PFAチューブは、半導体ウェットプロセスにおいて超純水および薬液を輸送するための重要な部品であり、さまざまなウェーハ製造工程に直接適用されます。微量の溶出金属イオンや放出パーティクルであってもウェーハを汚染し、欠陥率の上昇や歩留まり低下を引き起こす可能性があります。そのため、この2つの指標は配管清浄度を評価するための「ハードル」とみなされており、プロセスノードの進化に伴って清浄度性能への要求はますます厳しくなっています。

金属イオン溶出の検証試験では、BSLの研究所が極限条件を模擬しました。37% HCl溶液中で85°Cの一定温度に保ち、7日間連続で静的浸漬を実施しました。その結果、Na、Al、Feなどの主要イオンの溶出量は、同等の国際ブランド製品を大幅に下回りました。超高純度樹脂原料と高温溶融押出プロセスの相乗効果により、製造源からの不純物混入を抑制し、先進チップ製造に向けた強固な清浄度バリアを構築しています。




一方、超純水(UPW)循環フラッシングによるパーティクル試験では、超高純度PFAチューブのパーティクル数は国際的な第一級製品よりも大幅に低い結果となりました。特に、重要なパーティクルサイズ範囲である≥0.2μmでは、パーティクル数はほぼゼロでした。独自のプロセス技術を活用することで、BSL超高純度PFAチューブはより低い表面粗さ(Ra値)とより滑らかな内壁を実現し、根本原因からパーティクルの滞留や吸着を物理的に低減しています。




清浄度性能に加えて、BSL超高純度PFAチューブは、表面粗さ(Ra)、破裂圧力(1/2")、引張強度、降伏強度などの指標においても優れた性能を発揮します。優れた清浄度性能と機械的信頼性を兼ね備え、過酷な使用条件にも安定して対応できます。

超高純度消耗品分野における深い専門知識と、さまざまな半導体製造アプリケーションシナリオへの徹底した理解に基づき、BSLは顧客の特殊な使用条件要件に応じてチューブ寸法、切断長さ、接続方式を柔軟にカスタマイズできます。複雑なアプリケーション課題に対する的確なソリューションを提供し、専用のシステムサポートパッケージを提供します。

先進プロセスノードが継続的に進化し、高純度供給配管に求められる清浄度基準がさらに高まる中、BSLは革新的な製品力によって先進半導体製造を継続的に支えています。現在、超高純度PFAチューブ製品は、先進半導体プロセス装置や高純度薬液供給エンジニアリングプロジェクトなどの分野で安定的に導入されています。


 
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