半導体ウェハ製造工場(Fab)の高純度化学物質管理システムにおいて、200L
HDPEドラム
これは、産業チェーン全体を通して重要なプロセス支援コンポーネントとして機能します。サプライヤーから製造工場へ輸送される化学物質の主要な保管・輸送媒体として機能するだけでなく、工場内のバルク貯蔵タンクとプロセス機器を連結する重要な緩衝コンポーネントとしても機能します。
半導体製造工場における高純度電子グレード化学薬品の供給ニーズを満たすために設計されたBSL(宝世利)200L超高純度HDPEドラムは、プレミアムグレード製品として際立っています。その最大の特長は、金属イオンと微粒子状汚染物質の含有量を極めて低く抑え、高純度半導体化学薬品パッケージに関するSEMI規格に準拠し、最先端の半導体製造ノードの要件を満たす点にあります。
01 化学物質の安全な保管と輸送
200LのHDPEドラムは、半導体業界における電子グレード化学薬品の主流の包装規格であり、酸、アルカリ、有機溶剤、研磨スラリー、その他の化学物質の保管および輸送に広く用いられている。
BSLウルトラクリーンHDPEドラムは、輸入された高純度HDPE原料を用い、高性能押出ブロー成形装置で製造されており、濃酸、強アルカリ、各種有機溶剤に対する優れた耐腐食性を備えています。長期の化学薬品保管中も膨張は発生せず、金属イオンの溶出はSEMI規格の基準値内に常に抑えられ、保管および輸送サイクル全体を通して本来の化学純度を維持します。
02 現場化学薬品供給システムとのインターフェース
製造工場の化学薬品供給ループにおいて、200Lの超クリーンHDPEドラムは、工場内のバルクタンクから化学薬品を補充し、工場内の化学薬品供給システムに接続するコンパクトな中間バッファー容器として機能します。高密閉構造のドラムネックを採用することで、流体ポンプ操作中の漏れや外部からの汚染物質の侵入を防ぎ、輸送および取り扱い時の安全性を保証する公式のUN 1H1/Y1.9/170認証を取得しています。さらに、10.5kgと12.5kgの標準軽量オプションは、既存の工業用化学薬品供給装置とのシームレスな互換性を実現するように設計されています。
03 化学薬品の混合および希釈作業のサポート
特定の化学物質は、使用前に配合に基づいた希釈または混合が必要です。典型的な例として、混合酸配合システムでは、200Lの超高純度HDPEドラムに濃縮された原料化学物質が貯蔵され、酸混合モジュールにポンプで送られ、超純水と比例的に混合された後、最終的に生産設備に供給されます。
残留物低減構造設計を採用したBSLウルトラクリーンHDPEドラムは、最適化された底部形状と滑らかでデッドスペースのない内壁により、完全な排水と容易な洗浄を実現します。この設計により、異なる製造バッチ間の相互汚染を防ぎ、化学薬品の全体的な利用効率を向上させます。
04 廃液の収集と処理を可能にする
各種プロセス機器から排出される使用済み酸、廃有機溶剤、その他の残留化学物質は、集中移送および廃棄処分前に一時的に保管する必要があります。廃棄物回収回路における適合規格に準拠した中間収集容器として、BSL 200LウルトラクリーンHDPEドラムは、産業安全および環境コンプライアンス基準を満たす優れた耐薬品性を備えています。
4つの主要なアプリケーションシナリオは、電子化学品の入荷から廃棄物の排出まで、ライフサイクル全体を網羅しています。このような多用途な性能を支えているのは、原材料の選定、成形、完成品のテストに至るまで、BSL独自の社内技術です。エンドツーエンドのプロセス制御機能を備えたBSLは、中国国内の半導体産業向けに、安定した高性能な包装、保管、輸送ソリューションを提供し続けています。