最近、中国（上海）自由貿易試験区臨港新片区管理委員会は『第4世代半導体の未来産業クラスタ構築に向けた行動計画（2026～2028年）』を正式に発表しました。この文書は、第4世代半導体分野に特化した中国初の地方専門産業政策となります。この計画では、酸化ガリウム、ダイヤモンド、窒化アルミニウムを含む超ワイドバンドギャップ半導体と、アンチモン化インジウムやアンチモン化ガリウムなどの超ナローバンドギャップ半導体の2つの主要な開発領域を定義しています。

臨港は、基礎研究、技術突破、コンセプト検証、工学検証、シナリオ実証、大規模応用を網羅する全チェーン育成システムを構築すると同時に、材料、デバイス、プロセス、応用の各リンクにおける科学研究を強化しています。BSL（宝世利）上海分公司は臨港新片区に位置し、超高純度PFAチューブ、超高純度HDPEドラム缶などの半導体グレード電子化学品移送・包装用消耗品を専門としています。同社の製品ラインナップは、電子化学品の供給とプロセス応用を繋ぐ架け橋となっています。

01. 産業チェーンにおける「見えざる必須需要」

第4世代半導体が研究室から生産ラインへと移行するには、多くのプロセス工程で高純度化学品の安定した供給が不可欠となります。酸化ガリウムウェーハの湿式洗浄やダイヤモンド基板のCMP研磨はいずれも、硫酸、過酸化水素、フッ化水素酸などの電子工業用薬品を採用しています。輸送パイプラインや包装容器は、プロセス媒体と直接接触します。パイプライン材料からの金属イオン溶出、TOC放出、粒子の脱落は、ウェーハの欠陥密度に直接影響を与えます。そのため、電子工業用薬品向けの高純度包装・輸送用消耗品は、しばしば「見えざる必須需要」と呼ばれています。

02. 製品の製品化から標準規格の制定まで

現在、半導体グレードのPFAチューブおよびHDPEドラム缶の供給は、日本、欧州、米国の企業に高度に集中しています。半導体グレードの化学品包装・輸送用消耗品は、原材料の純度、押出成形プロセス、金属溶出の管理に対して極めて厳しい要求を課しています。

継続的な技術研究を通じて、BSLはこの分野で率先してブレークスルーを達成し、ウルトラクリーンPFAチューブとウルトラクリーンHDPEドラム缶という2つの革新的な製品を開発しました。ウルトラクリーンPFAチューブは、pptレベルでの金属イオン溶出制御、優れた耐薬品腐食性、平滑な内壁、および一貫した品質を特徴としています。ウルトラクリーンHDPEドラム缶についても、ナトリウム、カリウム、鉄、銅、ニッケルなどの主要な金属イオンがpptレベルで制御されており、保管および輸送中における湿式電子工業用薬品の長期安定性を確保しています。

この基盤をもとに、BSLは製品の優位性を標準制定の能力へと変換し、業界仕様のアップグレードを推進しています。BSLは、団体規格『半導体グレード溶融性ポリテトラフルオロエチレン（PFA）チューブ』の主導起草機関を務め、今年4月に正式実施された団体規格『湿式電子工業用薬品の包装、保管および輸送要件』の筆頭起草機関を務めています。現在までに、BSLのウルトラクリーン製品シリーズは主要なファブおよび装置サプライヤーのサプライチェーンに参入し、化学品輸送・包装用消耗品の初期的な製品マトリクスを形成しています。

03. 産業アップグレードの共同推進

BSL上海支社は、東方芯港集積回路産業クラスタと同じゾーン内に位置しています。高純度化学品輸送パイプラインおよび包装容器については、工場出荷からファブでの受入検査に至る物流プロセス全体を通じて、厳格な清浄度管理を維持しなければなりません。物理的な距離は、物流における汚染リスクと輸送コストに直接影響を与えます。さらに、半導体グレード消耗品をファブに導入するための認定サイクルは通常6ヶ月から始まります。サプライヤーはファブのプロセスチームと頻繁なコミュニケーションや現場での調整を行う必要があり、距離が短いほど迅速な対応とより直接的なエンジニアリング協調が可能になります。

臨港における第4世代半導体の産業枠組みが着実に具体化する中、BSLは今後も化学品輸送・包装用消耗品に注力し、産業のアップグレードを積極的に推進してまいります。