チップ製造技術の継続的な進歩に伴い、ウェーハは不純物含有量に対してますます敏感になっています。ウェーハの製造プロセス中に導入される不純物は、チップの歩留まりと生産効率に重大な影響を与えます。したがって、最先端の洗浄装置は半導体製造において重要な役割を果たします。

ACM の概要

2005 年に設立された ACM (上海) は、常に集積回路装置業界のリーダー企業であり、「中国の半導体装置企業トップ 5」の 1 つとして評価されています。同社の製品ラインは枚葉式ウエハおよびタンク湿式洗浄装置、電気めっき装置などを含めて多岐にわたります。同社は研究開発、設計、製造、販売を統合し、半導体チップメーカーに高性能で低エネルギー消費のプロセスソリューションを提供することに重点を置いています。

Shengmei は、世界初の SAPS/TEBO メガソニック洗浄技術とタホ枚葉タンク複合洗浄技術により、ウェーハエッチング後の有機汚染物やパーティクルの洗浄の問題を解決し、半導体の生産効率と製品歩留まりを向上させました。 、中国本土で国際的に競争力のある数少ない半導体固有の装置プロバイダーの 1 つです。

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半導体洗浄工程
ウルトラクリーンPFAチューブの役割

半導体製造プロセスでは、湿式洗浄が重要な役割を果たします。 ACMが独自に開発したSAPS（Space Alternating Phase Shift）メガソニック波などのハイテク技術と機能水の組み合わせにより、ウェハ上の微粒子やフォトレジストなどの不純物をより効率的に除去します。

機能水とは、特定のガスを溶解した水溶液に少量の薬品を配合し、SAPSメガソニック技術による高周波振動により洗浄効率を大幅に向上させたものです。

Baoshili Ultra-Clean PFA Tube の重要な役割は、機能水を輸送し、高純度で不純物のない機能水を確実に輸送し、ACM (上海) の生産プロセスを保護することです。

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国内唯一のPFAチューブサプライヤー
宝石利の3大メリット

Baoshili が ACM (上海) の国内唯一の PFA チューブ サプライヤーであることは注目に値します。継続的な独自の技術研究開発と優れた製品性能により、トップ半導体企業が輸入PFAチューブのみを購入する現状を打破し、半導体グレードのPFAチューブの国内代替化の実現を先導しました。

現在、Baoshili Ultra-Clean PFA Tube には 3 つの主な利点があります。

1. 性能上の利点: 輸入されたダイキン AP 231SH 高純度原材料を使用し、高精度の耐食性 PFA パイプ押出機を通じて生産され、高純度および高品質を保証します。製品の優れた性能。
2. 品質テスト: 100 レベルのラボでは、Agilent ICP-MS/MS 8900 などの最先端の機器を使用して製品品質テストを実施し、最終製品の各バッチの標準化された生産を保証します。
3. 生産技術の独立した研究開発：製品の安定性と信頼性を確保するための完全な生産プロセスを備えています。

国内半導体産業の急速な発展に伴い、国内有数のPFA​​メーカーとして、Baoshili超クリーンPFAチューブはさまざまな半導体生産リンクで広く使用されており、国内トップ半導体企業に特殊な部品やコンポーネントを提供し、共同で産業の高度化を推進しています。